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HJCシリーズ
靜電チャック用高圧電源
HJCシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
· 靜電チャック専用設(shè)計。
· 出力は電子スイッチで高速応答(100ms)。
· 両極性出力。
· RFフィルタ內(nèi)蔵（オプション）。
· リレーを使わないので高信頼、長壽命。
|
出 力 |
モデル名 |
||
|
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
|
±1 |
6 |
0.1 |
HJC-1B6 |
|
30 |
0.1 |
HJC-1B30 |
|
|
±2 |
3 |
0.1 |
HJC-2B3 |
|
15 |
0.1 |
HJC-2B15 |
|
|
±3 |
2 |
0.1 |
HJC-3B2 |
|
10 |
0.1 |
HJC-3B10 |
|
|
±4 |
1.5 |
0.1 |
HJC-4B1.5 |
|
7.5 |
0.1 |
HJC-4B7.5 |
|
|
±5 |
1.2 |
0.1 |
HJC-5B1.2 |
|
6 |
0.1 |
HJC-5B6 |
|
|
|
公司營業(yè)時間：周一～周五，北京時間【8:30-17:30】
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